回折光干渉を利用した表面パターンの計測
書誌事項
- タイトル別名
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- カイセツ ヒカリ カンショウ オ リヨウシタ ヒョウメン パターン ノ ケイソ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 名古屋市工業研究所研究報告 = Research reports of Nagoya Municipal Industrial Research Institute / 名古屋市工業研究所支援総括室 編
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名古屋市工業研究所研究報告 = Research reports of Nagoya Municipal Industrial Research Institute / 名古屋市工業研究所支援総括室 編 (63), p17-20, 1981
名古屋 : 名古屋市工業研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521699230530766720
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- NII論文ID
- 40002775832
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- NII書誌ID
- AN00179851
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- ISSN
- 03693333
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- NDL書誌ID
- 2298893
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles