原子層単位で制御される物質合成<特集>
書誌事項
- タイトル別名
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- ゲンシソウ タンイ デ セイギョサレル ブッシツ ゴウセイ トクシュウ
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抄録
記事分類: 電気工学--電気材料・部品 ; 工業材料・材料試験
収録刊行物
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- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
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真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 36 (2), p67-99, 1993-02
東京 : 日本真空協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1521980705052969856
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- NII論文ID
- 40001883477
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- NII書誌ID
- AN00119871
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- ISSN
- 05598516
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- NDL書誌ID
- 3808467
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles