静電チャック用誘電体材料
書誌事項
- タイトル別名
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- セイデンチャックヨウ ユウデンタイ ザイリョウ
- Electrostatic Chuck Dielectric Material
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収録刊行物
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- 耐火材料 = Refractory material : Krosaki Harima technical report
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耐火材料 = Refractory material : Krosaki Harima technical report (168), 60-66, 2020
北九州 : 黒崎播磨
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1522825130912028928
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- NII論文ID
- 40022533504
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- NII書誌ID
- AN00352093
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- ISSN
- 04945549
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- NDL書誌ID
- 031384881
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles
