Development of Fine pitch Negative Tone Resist for Electro-Plating
書誌事項
- タイトル別名
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- 微細配線形成向け電解めっき用ネガ型レジストの開発
- ビサイ ハイセン ケイセイ ムケ デンカイメッキ ヨウ ネガガタ レジスト ノ カイハツ
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収録刊行物
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- JSRテクニカルレビュー = JSR technical review / JSR株式会社研究開発部 編
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JSRテクニカルレビュー = JSR technical review / JSR株式会社研究開発部 編 (122), 8-12, 2015-03
東京 : JSR広報部
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523106605853744768
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- NII論文ID
- 40020645851
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- NII書誌ID
- AA11131414
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- ISSN
- 09167129
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- NDL書誌ID
- 026857447
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- 本文言語コード
- en
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- NDL 雑誌分類
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- ZP17(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業--ゴム・プラスチックス)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
