半導体微細加工技術を用いたガラスチップ製造法
Bibliographic Information
- Other Title
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- ハンドウタイ ビサイ カコウ ギジュツ オ モチイタ ガラスチップ セイゾウホウ
- 特集 流体MEMSのすべて--マイクロ流体デバイスの応用展開とその実用化
- トクシュウ リュウタイ MEMS ノ スベテ マイクロ リュウタイ デバイス ノ オウヨウ テンカイ ト ソノ ジツヨウカ
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- 電子材料
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電子材料 44 (11), 26-28, 2005-11
東京 : 工業調査会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1523669554771033600
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- NII Article ID
- 40007006737
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- NII Book ID
- AN00153166
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- ISSN
- 03870774
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- NDL BIB ID
- 7714053
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
