半導体微細加工技術を用いたガラスチップ製造法
書誌事項
- タイトル別名
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- ハンドウタイ ビサイ カコウ ギジュツ オ モチイタ ガラスチップ セイゾウホウ
- 特集 流体MEMSのすべて--マイクロ流体デバイスの応用展開とその実用化
- トクシュウ リュウタイ MEMS ノ スベテ マイクロ リュウタイ デバイス ノ オウヨウ テンカイ ト ソノ ジツヨウカ
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収録刊行物
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- 電子材料
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電子材料 44 (11), 26-28, 2005-11
東京 : 工業調査会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523669554771033600
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- NII論文ID
- 40007006737
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- NII書誌ID
- AN00153166
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- ISSN
- 03870774
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- NDL書誌ID
- 7714053
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
