絶縁膜上における非晶質SiGeのインデント誘起固相成長
書誌事項
- タイトル別名
-
- Indentation-Induced Solid-Phase Crystallization of SiGe on Insulator
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 電気学会研究会資料. EFM, 電子材料研究会
-
電気学会研究会資料. EFM, 電子材料研究会 2008 (24), 31-34, 2008-09-27
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1570009751003197952
-
- NII論文ID
- 10025649368
-
- NII書誌ID
- AN10442556
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- CiNii Articles