オンチップパルスジェネレータを用いた高周波パルス電流によるEM評価

書誌事項

タイトル別名
  • Electromigration test under high frequency pulsed current using on- chip pulse generator

この論文をさがす

説明

オンチップパルスジェネレータで生成したパルス電流を用いたエレクトロマイグレーション(EM)試験を行った。この試験方法ではパルス波形の歪みが少ないので信頼性の高い高周波数(>100MHz)のEM試験が可能である。このシステムを用いて30MHz-350MHzの範囲で単方向パルス電流によるA1SiCu配線のEM信頼性を、周波数およびデューティ比依存性の観点から調べた。その結果、この周波数範囲ではEM寿命はほぼ一定であり、デューティ比0.4ではパルス電流による寿命はDC寿命の約50倍であることがわかった。またEM寿命はデューティ比に大きく依存し、デューティ比指数は4.4±1.0であることがわかった。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1570009752531169536
  • NII論文ID
    110003310212
  • NII書誌ID
    AN10013254
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

問題の指摘

ページトップへ