エレクトロニクス産業関連の欠陥検査

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タイトル別名
  • Surface testing for electronic industry.
  • エレクトロニクス サンギョウ カンレン ノ ケッカン ケンサ

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抄録

表面欠陥検査はまだ人手に頼る場合が多い.しかしエレクトロニクス産業における欠陥検査のように,広い面積の中の微小欠陥検出においては,肉眼作業の疲労の問題から,レーザを用いた方法が使われ始めている.<BR>ここでは,パターンのある表面の検査に的を絞り,各種方法を紹介した.ハイテク産業の発展とともに,今後ますます欠陥検出感度向上の必要性が高まるものと思われる.

収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 53 (8), 1158-1160, 1987

    公益社団法人 精密工学会

被引用文献 (1)*注記

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